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回收多晶硅铸锭炉+镇海真空流量计回收的厂家

文章来源:shxj365 发布时间:2024-05-08 05:38:01


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用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展。通过对硅片进行光刻硅片是集成电路的重要材料使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于废电池片的再利用指以将再次生产的方式。直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000,CG6000,KAYEX100PV,KAYEX120PV,KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg。的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)国外以美国KAYEX为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。

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技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图,图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为护盘,12为氩气输 入管,11为分布有孔11-1的环形气体分布器,13为排气口。名称:直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大,另外,现有技术中,从氩气输入管向炉内充入氩气时, 充气气压为1. 3x 103pa,氩气流量为40L/min,因此其氩气消耗量大,生产 成本较高。2,海拔高度:不超过1000m,3,湿度相对湿度:日平均值不大于95%,月平均不大于90%,饱和蒸气压:日平均值不在于2.2×10 Mpa,月平均不大于1.8×10 Mpa,4,地震烈度不超过8度,5,周围空气应不受腐蚀性,可燃气体,水蒸气等明显污染,6,无经常性的剧烈震动。当关柜使用条件超出以上规定,由用户与厂协商确定。