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用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长,几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命,电阻率,碳氧含量,位错密度) 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。氦气为主)环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体(氮气比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120,150等型号是由装料量来决定的\单晶炉主要需要控制的方面一,晶体直径(尺寸)二,温度(率控制)三,原料(硅料)四,泄漏率,氩气质量等\本文由rxl,欢迎大家完善。单晶炉型号定义单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比 型号是由装料量来决定的单晶炉主要需要控制的方面一、晶体直径(尺寸)二、温度(功率控制)三、原料(硅料)四、泄漏率,氩气质量等
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提出到2015年光伏发电将达到15GW,发电量200亿千瓦时。核心提示:《规划》明确了七大领域的发展方向,制定了产业发展路线图,提出了各领域发展的标志性目标,提升整体创新能力与拓展市场应用等创新发展重大行动计划,主要政策措施,力图为产业发展指出更加清晰的发展方向。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。一、主炉体构造1、基座与板板设计成平板式,具有双层结构,通水冷却。四只电极穿过底板,在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰区。2、主、下炉室主、下炉室为双层筒状结构,两端为法兰结构,通水冷却,并有隔水条保冷却均匀。主炉室设置了一个测温计窗口,用于测量加热器温度。下炉室有抽真空和真空计接口(0~100Torr和0~1Torr)。下炉室在正常操作过程中始终用压板固定在板上,通过氟橡胶O型圈实现真空密封。3、炉盖炉盖为炉体和隔离阀座了一个过渡区。炉盖采用标准炉盖,双层通水冷却。在炉盖上设有一个操作者观察窗口(类椭圆形)和一个直径控制窗口(圆形)。